臭氧140HP 技术参数
1. 基本参数
制造商..........................德国MKS仪器装备(GmbH)股份有限公司柏林分公司
额定臭氧输出量............153g/h
额定臭氧气体流量.........1.02Nm³/h(17 slm)
在180g/Nm³浓度下的臭氧输出量.......130g/h
在180g/Nm³浓度下的臭氧流量...........0.72Nm³/h(12 slm)
操作环境的空气温度范围....................+5℃....+30℃
操作环境的相对湿度...........................≤ 60%
2. Size
臭氧体积(W宽*H高*D深).........562mm*282mm*603mm
最大深度(包含开关以及各种接口)...655mm
重量.............................................55kg
3. Gas气体
供应气体...............Oxygen浓度 99.5%-99.999%,露点温度<-40℃,无碳氢化合物(<50ppm)
工作压力...................3.5bar绝对值(2.5bar标准大气压)
最大压力...................4.2bar绝对值(3.2bar标准大气压)
最小压力...................2.7bar绝对值(1.7bar标准大气压)
安全阀泄压压力........5.1bar绝对值(4.1bar标准大气压)
连接接口...................1/2"VCR male(SS-8-VCR male)
掺杂气体....................氮气>99.995%
掺杂含量....................10....20 ppm
4. Exhaust air 排气管
连接接口直径............φ40mm(1.57")
排风压力.....................20mm 水柱
排风量........................>8m³/h
5. Cooling water 冷却水
连接接头....................1/2" NPT male
介质............................自来水,电导率≥50uS/cm,不可使用DI水,使用者要加装50um的过滤装置
冷却水正常体积流量输出........0.72m³/h
最小流量................................0.56m³/h
冷却水压降............................1.5bar
最大压力.................................6.0bar绝对值(5bar标准大气压)
正常冷却水温度值..................20℃
最低温度................................10℃
切断管式发生器温度...............≈40℃
6. 电力连接
主电源.....................................工业电源(208Veff±10%,3-phase + GND 或者230Veff±10%,1-phase + GND)
频率........................................50HZ
负载功率.................................3.2KVA
正常功率.................................2.6KW(默认功率:1-phase>0.8 3-phase >0.9 )
远程控制连接..........................15-pole D-SUB female
远程控制电缆.........................<30m,带屏蔽线
注意:要保证绿黄接地线接到PE(GND)终端
设备铭牌
7. 冷却水对臭氧的影响
冷却水电导率对臭氧的影响曲线
冷却水进水温度对臭氧浓度的影响曲线
8. 氧气流量对臭氧浓度和臭氧产量的影响曲线
氧气流量对臭氧浓度与产量的影响曲线(SEM 090.2)
氧气流量分别对型号SEM090.2与型号SEM140的臭氧浓度和产量的影响曲线
氧气流量对臭氧浓度的影响曲线(HP140)
9. 臭氧发生器的LED状态
LED指示灯状态以及原因分析
10. 注意事项
不能使用橡胶密封圈密封,不能用镀银的VCR垫片
在拆除任何盖板之前,要先断掉电源
因臭氧发生器内部含有充电电容,在触摸任何内部元器件时,要断电至少10分钟以上
连接臭氧的管路需要是PFA或者PTF
王俊峰
2017.11.12