臭氧140HP 技术参数
1. 基本参数
制造商..........................德国MKS仪器装备（GmbH）股份有限公司柏林分公司
额定臭氧输出量............153g/h
额定臭氧气体流量.........1.02Nm³/h（17 slm）
在180g/Nm³浓度下的臭氧输出量.......130g/h
在180g/Nm³浓度下的臭氧流量...........0.72Nm³/h（12 slm）
操作环境的空气温度范围....................+5℃....+30℃
操作环境的相对湿度...........................≤ 60％
2. Size
臭氧体积（W宽*H高*D深）.........562mm*282mm*603mm
最大深度（包含开关以及各种接口）...655mm
重量.............................................55kg
3. Gas气体
供应气体...............Oxygen浓度 99.5%-99.999%，露点温度＜-40℃，无碳氢化合物（＜50ppm）
工作压力...................3.5bar绝对值（2.5bar标准大气压）
最大压力...................4.2bar绝对值（3.2bar标准大气压）
最小压力...................2.7bar绝对值（1.7bar标准大气压）
安全阀泄压压力........5.1bar绝对值（4.1bar标准大气压）
连接接口...................1/2"VCR male（SS-8-VCR male）
掺杂气体....................氮气＞99.995%
掺杂含量....................10....20 ppm
4. Exhaust air 排气管
连接接口直径............φ40mm（1.57"）
排风压力.....................20mm 水柱
排风量........................＞8m³/h
5. Cooling water 冷却水
连接接头....................1/2" NPT male
介质............................自来水，电导率≥50uS/cm，不可使用DI水，使用者要加装50um的过滤装置
冷却水正常体积流量输出........0.72m³/h
最小流量................................0.56m³/h
冷却水压降............................1.5bar
最大压力.................................6.0bar绝对值（5bar标准大气压）
正常冷却水温度值..................20℃
最低温度................................10℃
切断管式发生器温度...............≈40℃
6. 电力连接
主电源.....................................工业电源（208Veff±10%，3-phase + GND 或者230Veff±10%，1-phase + GND)
频率........................................50HZ
负载功率.................................3.2KVA
正常功率.................................2.6KW（默认功率：1-phase＞0.8 3-phase ＞0.9 ）
远程控制连接..........................15-pole D-SUB female
远程控制电缆.........................＜30m，带屏蔽线
注意：要保证绿黄接地线接到PE（GND）终端
设备铭牌
7. 冷却水对臭氧的影响
冷却水电导率对臭氧的影响曲线
冷却水进水温度对臭氧浓度的影响曲线
8. 氧气流量对臭氧浓度和臭氧产量的影响曲线
氧气流量对臭氧浓度与产量的影响曲线(SEM 090.2）
氧气流量分别对型号SEM090.2与型号SEM140的臭氧浓度和产量的影响曲线
氧气流量对臭氧浓度的影响曲线（HP140）
9. 臭氧发生器的LED状态
LED指示灯状态以及原因分析
10. 注意事项
不能使用橡胶密封圈密封，不能用镀银的VCR垫片
在拆除任何盖板之前，要先断掉电源
因臭氧发生器内部含有充电电容，在触摸任何内部元器件时，要断电至少10分钟以上
连接臭氧的管路需要是PFA或者PTF
王俊峰
2017.11.12